『水晶ウェハ手動周波数測定器：M-QW-320A』のタイトル
水晶ウェハの任意の点の周波数を測定できます。位置決めは手動で、位置はディジタル表示されます。測定結果はパソコンで表示処理しますので、データ処理が容易です。
基本仕様
| 測定周波数 |
10～60MHz |
|---|---|
| 測定システム |
NET-3000 ネットワークアナライザーR3755A |
| 電極径 |
上電極 φ2.5 or 5mm 下電極 φ6mm |
| 測定項目 |
・ウェハ基本波周波数 |
| 測定精度 |
100ppm (同一ウェハ10回繰り返し) |
| 対応ウェハ |
① 50㎜ × 35mm |
| 移動ストローク |
X軸方向 ＝ 中心位置より、最大±55mm |
| 測定ユニット部寸法 |
420(W) × 720(D) × 480(H)mm |
| 入力電源 |
単3電池 2個 |