M-QW-320A

水晶ウェハ手動周波数測定器:M-QW-320A

水晶ウェハの任意の点の周波数を測定できます。位置決めは手動で、位置はディジタル表示されます。測定結果はパソコンで表示処理しますので、データ処理が容易です。

基本仕様

測定周波数

10~60MHz

測定システム

NET-3000 ネットワークアナライザーR3755A

電極径

上電極 φ2.5 or 5mm 下電極 φ6mm

測定項目

・ウェハ基本波周波数
ウェハスプリアス周波数(SF)
CI

測定精度

100ppm (同一ウェハ10回繰り返し)

対応ウェハ

① 50㎜ × 35mm
② φ100㎜(4inch)

移動ストローク

X軸方向 = 中心位置より、最大±55mm
Y軸方向 = 中心位置より、最大±55mm
移動ストローク最小単位: 0.01mm

測定ユニット部寸法

420(W) × 720(D) × 480(H)mm

入力電源

単3電池 2個

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