A-QW-3700 Series

最大4インチサイズの丸型、角型ウェハの多点測定装置

丸型、角型水晶ウェハの周波数選別を行います。 ウェハ測定箇所はプログラミング可能です。

基本仕様

モデル 3720
(角型ウェハ専用)
3750
(丸型ウェハ専用)
対応サイズ

2~3インチ

2~4インチ

測定項目

・ウェハ基本周波数
・ウェハ多点周波数(Max、Min、Ave)
・CI

測定周波数

10~60MHz

測定器

ネットワークアナライザボード R3755A(ADVANTEST)

測定精度

100ppm(同一ウェハ10回繰り返し)

処理能力

平均10秒/個(測定時間140ms×3か所)

寸法

1400(W) × 1500(D) × 1800(H)mm

1870(W) × 885(D) × 1655(H)mm

供給

8個キャリア

4個キャリア

収納

30個キャリア

10個キャリア

分類

分類数:30ランク(RI含む)
OK1~OK24、+NG、-NG、CING
スプリアスNG、RPLNG、RI

分類数:10ランク
OK1~OK8、+NG、-NG

入力電源

三相AC200V 50/60Hz

AC200V 50/60Hz

エアー源

0.4MPa(ドライクリーンエアー)

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