最大4インチサイズの丸型、角型ウェハの多点測定装置
丸型、角型水晶ウェハの周波数選別を行います。 ウェハ測定箇所はプログラミング可能です。
基本仕様
| モデル |
3720 （角型ウェハ専用） |
3750 （丸型ウェハ専用） |
|---|---|---|
| 対応サイズ |
2～3インチ |
2～4インチ |
| 測定項目 |
・ウェハ基本周波数 |
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| 測定周波数 |
10～60MHz |
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| 測定器 |
ネットワークアナライザボード R3755A（ADVANTEST） |
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| 測定精度 |
100ppm（同一ウェハ10回繰り返し） |
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| 処理能力 |
平均10秒/個（測定時間140ms×3か所） |
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| 寸法 |
1400(W) × 1500(D) × 1800(H)mm |
1870(W) × 885(D) × 1655(H)mm |
| 供給 |
8個キャリア |
4個キャリア |
| 収納 |
30個キャリア |
10個キャリア |
| 分類 |
分類数：30ランク（RI含む） |
分類数：10ランク |
| 入力電源 |
三相AC200V 50/60Hz |
AC200V 50/60Hz |
| エアー源 |
0.4MPa(ドライクリーンエアー) |
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