M- Series

開発部門や受け入れ検査に適した手動測定器

手動で周波数を測定するための治具です。対象ワークは水晶ブランクからウェハまであらゆるラインナップを取り揃えております。計測システムNET-3000を併用すれば、データ処理がパソコンで行えます。

基本仕様

モデル M-QB-300
(水晶ブランク用)
M-QW-320
(水晶ウェハ用)
対応サイズ

1.0mm × 0.5mm~2.0mm × 8.0mm

最大φ100mm(4インチ)

位置決め方式

ブッシュ式
(ワークサイズに合わせた専用ブッシュが必要です)

測定項目

・ブランク基本周波数
・ブランクスプリアス周波数(SF)
・CI

・ウェハ基本周波数
・ウェハスプリアス周波数(SF)
・CI

測定周波数

10~300MHz

10~60MHz

測定システム

NET-3000 ネットワークアナライザー R3755A(ADVANTEST)

測定点

中央1点

多点

測定精度

100ppm(同一ブランク10回繰り返し)

100ppm(同一ウェハ10回繰り返し)

移動ストローク

固定

X軸方向 = 中心位置より、最大±55mm
Y軸方向 = 中心位置より、最大±55mm
(移動ストローク最小単位: 0.01mm)

寸法

200(W) × 250(D) × 300(H)mm

420(W) × 720(D) × 480(H)mm

入力電源

単3電池 2個

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