A-QW-3750

最大4インチ丸型ウェハの多点測定装置

円形ウェハの周波数選別を行います。ウェハ測定箇所はプログラミング可能です。供給ウェハキャリアを4つ実装できます。1つのキャリアにウェハが25枚収納可能です。

基本仕様

測定周波数

10~60MHz

測定器

ネットワークアナライザーR3755A

電極径

上電極 φ3.5mm 下電極 φ85mm

測定項目

・ウェハ基本波周波数
・ウェハ多点周波数(Ave、Max、Min)
・CI

測定精度

100ppm (同一ウェハ10回繰り返し)

対応ウェハ

φ100mm(4Inch)

処理能力

8秒/個
測定時間140mS × 3か所を含む

寸法

1870(W) × 885(D) × 1655(H)mm

分類

分類数:10ランク
OK1~OK8,+NG,-NG

入力電源

AC200V 50/60Hz

エアー源

0.4MPa(ドライクリーンエアー)

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