ラッピングモニタ LMSタイプ & AMSタイプ
ウェハ研磨時の周波数をリアルタイムでモニタするシステムです。周波数トレンドグラフが表示され、研磨が正常に進行しているかを確認することができます。市販のPC＋検出器で構成されています。LMSは検出器として弊社製ネットワークアナライザ、AMSはTransat社製ALC-2120を用いています。検出の設定、研磨終了条件など、面倒なALC-2120やネットワークアナライザの設定をレシピ化してあるので、柔軟にかつ誤り無く設定することができます。
基本仕様
| 検出器 |
LMS：HC-3701 |
|---|---|
| 周波数 |
LMS：1～180MHz |
| 表示精度 |
LMS：－ |
| ディスプレイ寸法 |
351(W) × 201(D) × 306(H)mm |
| 本体PC寸法 |
195.9(W) × 395(D) × 216.2(H)mm |
| 入力電源 |
AC100～240V 50/60Hz |