M-EQM-2900

蒸着前及び蒸着後ウェハ多点測定に対応

マニュアル操作により測定治具基準位置を調整し、 測定治具上のウェハ特性を検査する半自動ハンドラーです。計測されたウェハの測定箇所を周波数帯に応じてマトリックス表示します。

基本仕様

測定周波数

10~500MHz(計測器測定仕様)

測定器

ネットワークアナライザーR3755A

電極径

電極径 φ0.3mm

測定項目

・ウェハ基本波周波数
・ウェハスプリアス周波数(SF)
・CI

測定精度

100ppm
同一ウェハ10回繰り返し

対応ウェハ

お客様指定治具

移動ストローク

X軸方向 = 中心位置より、最大±80mm
Y軸方向 = 中心位置より、最大±80mm
移動ストローク最小単位: 0.01mm

測定ユニット部寸法

1120mm(W) × 870mm(D) × 1700(H)mm

入力電源

AC100V 50/60Hz 5A

製品をご検討の方へ