A-QW-3720

最大3インチ角型ウェハの多点測定に対応

角形水晶ウェハの周波数選別を行います。ウェハ測定箇所はプログラミング可能です。供給ウェハキャリアは8個、収納ウェハキャリアは30個実装できます。1つのキャリアにウェハが25枚収納可能です。

基本仕様

測定周波数

16~60MHz

測定器

ネットワークアナライザーR3755A

電極径

上電極 φ2.5mm 下電極 φ50mm

測定項目

・ウェハ基本波周波数
・ウェハ多点周波数(Max,Nin,,Ave)
・CI

測定精度

100ppm (同一ウェハ10回繰り返し)

対応ウェハ

φ50㎜近辺長方形ウェハ

処理能力

平均8秒/個
測定時間140mS × 5か所を含む

寸法

1400(W) × 1500(D) × 1800(H)mm

分類

分類数:30ランク(RI含む)
BIN指定(OK1~OK16,+NG,-NG,CI-NG,RPL-NG,スプリアスNG)+RI × 2

入力電源

三相AC200V 50/60Hz

エアー源

0.4MPa(ドライクリーンエアー)

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